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高端平板ETP PECVD高端装备

时间:2017-07-24 14:23:32  来源:千人智库网
项目类型:  项目融资 所在地区:  四川省
所属行业:  工程材料 融资用途:  产业化扩张
融资金额:  1000万
融资方式:  股权融资
 项目概述

项目负责人,目前任职于国内某大学教授、博士生导师。

2001-2010年回国前曾作为高级技术专家就职于荷兰OTB公司技术中心和荷兰皇家科学院等离子体所等离子体技术应用课题组。在荷兰工作期间,主持设计了新型大面积平板PECVD沉积装置。该装置主要用于沉积制备非晶硅、微晶硅薄膜、ZnO、石墨烯等新材料。

在多级直流弧放电等离子体发生(包括新型等离子体源的研制)、等离子输运以及在等离子体环境下材料表面发生的各种物理、化学反应机理等方面取得创新性研究成果。撰写等离子体薄膜沉积动力学英文专著1部。已发表论文80余篇。申请取得了热扩散弧放电 PECVD等离子体发生装置相关专利9项。2010年回国后主持国家973子课题两项、自然基金2项和参加863项目2项。

2010年回国后,有感于我国光伏行业的高端制造装备长期被国外先进国家所垄断的局面,决心组成团队实现我国光伏高端装备的国产化工作,具有极强的创新意识,在PECVD的制造方面组建团队并带领团队走在行业的技术最前沿。目前公司已经基本垄断国内和台湾地区有关ETP PECVD生产、维护和人员培训。

该项目所研制的大型平板式扩展热等离子体增强化学气相沉积装备(ETP PECVD) ,主要用于制备SiN膜、石墨烯、ZnO、非晶硅和微晶硅、金刚石薄膜等,是生产这些新材料的关键核心设备。

该项目关键技术成熟,相关技术申请取得了8项专利。核心产品等离子体源在四川某新能源控股有限公司、河南某公司、江苏某公司和陕西商洛比亚迪投入使用后深受用户好评,获得了优于国外同类产品的结论。同时产品出口到台湾地区。2012年9月13日,经四川省科学技术信息研究所查新,结论表明:文献中未见相同技术及开发产品的文献报道。

我国“光伏产业专用装备制造业”的发展已分别被列入《国家中长期科学和技术发展规划》和《“十一五”振兴我国装备制造业的途径与对策》中进行研究,反映了国家对此领域的高度重视。2012年2月科技部发布了太阳能光伏产业“十二五”发展规划纲要。作为我国“十二五”光伏产业发展的指导性文件,纲要中明确指出了“十二五”期间光伏电池生产设备本土化率达到80%。重点支持全自动平板式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,促进光伏生产设备的低耗能、高效率和生产工艺一体化。本项目产品PECVD设备,是太阳能电池生产领域的重要设备。项目的顺利实施必将提升我国在高端PECVD技术上的自主研发能力,掌握核心技术,缩短与国际先进水平的差距。项目的顺利转化和运营将满足我国太阳能电池生产设备的市场需求,实现我国从太阳能产业大国到产业强国的转变,形成太阳能产业的良性循环发展环境。

高性能、高产量、高成品率、低维护成本以及环保节能等是PECVD设备技术能满足市场并高速发展的重要条件。与管式PECVD设备相比,平板PECVD具备产能大、装卸片容易,易于自动化集成等优点,成为PECVD设备发展方向。根据当前光伏电池生产设备市场状况可以看到,在平板PECVD设备的研制和生产上,本土产品仍处于相对滞后的状态。到目前为止,国产平板PECVD设备市场上出现相关的成熟产品极少,市场仍然依靠进口,难以有效降低电池片生产成本。

该项目技术已经过不断的试验,在太阳能电池的大规模生产线得到了验证,并可以突破国外技术壁垒,树立本土品牌,对提升我国太阳能行业的装备制造业具极大的推动作用,能够降低我国太阳能产业对进口设备的依赖,降低太阳电池片的生产成本和维护成本,增强行业的国际市场竞争力。

 项目优势

技术优势:

(1) 产能是其他技术如微波等离子体技术和射频等离子体技术(目前市场上广泛使用)的两倍;

(2) 克服了德国Roth &Rau公司体钝化效果差的缺点,同时兼具良好的体钝化和表面钝化效果;

(3) 由于采用自主研制的高密度、大面积等离子体源,相比国外OTB公司的PECVD生产线,价格有大幅度下降的空间;

(4)大幅度提高了生产线的维护周期;

(5)电能和特种气体的消耗降低了30%。

目前,光伏行业所进口的同类设备的售价为1300万/台,这是因为其技术含量较高及垄断行为所致,我们根据分析,在我们设备性能超过国外厂家的情况下,按照600万/台的售价可以快速进入市场。

 

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高端 平板 etp pecvd 高端 装备

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